气体流动法薄膜孔径分析仪由椭偏系统、气液混合系统、电气控制系统、控制软件等组成，具有椭偏仪的所有功能，可以检测200mm及以下尺寸样品，可扩展至300mm，无需真空系统，整个吸附、脱附过程只需要几分钟即可完成，数据库中包含常规薄膜材料的光学数据，方便对设备进行调试、校准，配有全自动控制软件，可以全自动控制样品的吸附、脱附过程，并完成数据分析。

　　分析计算软件用于数据分析和制图，可以分析孔径大小及分布、平均孔径大小、孔隙率等参数。当压力测量与压力源在同一直线上时，考虑由于流动气体产生的不准确性，以获得数据。压力越低，流速越高，误差越大，在这种情况下，执行校准以校正压力读数，对于特别是大孔径的样品材料很重要，这种方法的结果是高度准确和可重复的孔径分析结果。

　　主要特点：

　　1.从真空开始的可连续或步进加压。

　　2.全自动计算机控制两个低压站可同时向样品池充汞。

　　3.1500psia压力传感器标准可获得高压力范围的分辨率。

　　4.Autospeed自动控制系统可针对样品注汞/排汞的特性调节变压速。

　　5.汞蒸汽防护系统，实验无污染。

　　6.双保险内部锁定：样品池盖未锁紧时低压站不能操作，避免汞泄露。

　　7.*的样品池倾斜系统可帮助*抽干剩余汞并防止潜在的汞飞溅。

　　8.密闭型低压注汞，防止操作者直接暴露于汞前。

　　9.气体流动法薄膜孔径分析仪自动液压油循环过滤系统。